一、行業簡介
半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度(dù)線路板、光電(diàn)器件、各種電子器(qì)件、微電子(zǐ)工業、大規模、超大規模(mó)集成電路需用大量的純(chún)水(shuǐ)、高純水、超純水清洗半(bàn)成品、成品。集成電路的集(jí)成度(dù)越高,線寬越窄,對水質的要求也越高。目前我國電(diàn)子工業部把電(diàn)子級水質技術分為五個行業等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質(zhì)。
二、應用範圍
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗(yàn)室、食品(pǐn)、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、製藥(yào)、石油、化工、鋼鐵、玻璃等(děng)領域。
2、化工工藝用水、化學藥(yào)劑、化妝(zhuāng)品等用純水。
3、單晶矽、半導體晶片切(qiē)割製造、半導體芯片、半導體封裝 、引線櫃架、集成電路、液晶顯示器(qì)、導電(diàn)玻璃、顯像管、線路板(bǎn)、光通信、電腦元件、電容器潔淨產品及各種元器件等生產工藝用純水。
三、工藝(yì)簡介
1、係統模塊化(huà)設計,共分四部分:預處理係統、反滲透係統、EDI係統、終端供水係統。
2、預處理係統主要用(yòng)來去除原水中的懸浮物、濁度、色度、膠體以及部分有機物,保證產水符合(hé)反滲透係統的進水水質要求。
3、反(fǎn)滲透係統主要用(yòng)來(lái)去除原水中溶解性鹽類物質、細(xì)菌、熱(rè)源(yuán)等,保證產水符合EDI係統進水水質(zhì)要求。
4、EDI係統主要用來對反滲透產水進(jìn)行(háng)進一步脫除溶解性的小分(fèn)子鹽類物質,產水達到電阻率達到15MΩ.cm以上。
5、終端(duān)供水(shuǐ)係(xì)統主要是用來將合格水輸送至用水點,輸送過程中對(duì)EDI產生進行最後的離子交換脫鹽,使得產水達到電阻率達(dá)到(dào)18MΩ.cm以(yǐ)上。
6、整個係統進行集中控製(zhì)。
四、技術特色
1、係統模塊化設計,占地麵積小,操作維(wéi)護方便,安裝方便快捷,整(zhěng)體(tǐ)美觀。
2、整套係(xì)統(tǒng)實現全自動化運行,並且手動與自動自由切換。
3、設備產水水質穩定,運行連續穩定。
4、係統工藝(yì)先進,無需化學藥品再(zài)生,無危害性廢液排(pái)放。
5、係統節水率高,係統(tǒng)回收(shōu)率在75%以上(shàng)。
6、關鍵部(bù)位采用在線儀表監測,適時數據上傳。
五、設備參數
1、係統回收率:
超濾≥90%
一級反滲透≥75%
二級反滲透≥85%
EDI係統(tǒng)≥90%
2、設備產水符合《電子超純水國家標準》 (GB/T1144.6.1-1997)或美國半導體工(gōng)業純水指標。
3、單支膜脫鹽率≥99.5%(水溫25℃)。